沈良,宋世庚,贾锐,陶明德

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摘要(Abstract)：

以钛酸四丁酯和乙酸钡为主要原料，以乙二醇独甲醚为溶剂，采用溶胶凝胶法在(100)低阻硅片上制备了BaTiO-3薄膜电容，用XRD分析了该薄膜的结构，发现薄膜在硅片上取向生长，同时又对薄膜的介电性质进行研究，结果表明，薄膜的介电特性在高频范围内随频率的变化比较稳定并讨论了晶化温度对薄膜电容的影响

关键词(KeyWords)： BaTiO_3薄膜;溶胶-凝胶法;介电性质

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 沈良,宋世庚,贾锐,陶明德

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