新疆大学学报(自然科学版)(中英文)

2006, (02) 182-184

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Ba(Zr_(0.3)Ti_(0.7))O_3铁电薄膜的制备
Technology of Preparing Ba(Zr_(0.3)Ti_(0.7))O_3 Ferroelectric Thin Film

张红燕;翟继卫;张军;

摘要(Abstract):

介绍了用溶胶-凝胶法(sol-gel)在Pt/Ti/SiO2/Si衬底和石英衬底上制备Ba(Zr0.3Ti0.7)O3铁电薄膜的基本原理、工艺过程及工艺特点;Sol-gel制备的Ba(Zr0.3Ti0.7)O3铁电薄膜表面平整、厚度均匀.

关键词(KeyWords): 溶胶-凝胶法;铁电薄膜;Ba(Zr03Ti07)O3

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 张红燕;翟继卫;张军;

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