新疆大学学报(自然科学版)(中英文)

2001, (04) 388-392

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近距离升华薄膜装置的研制及特性
The Fabrication and Property of Close-Space-Sublimation System

陈树义,郑毓峰,简基康,李东来,马忠权

摘要(Abstract):

详细介绍了近距离升华 (CSS)薄膜装置的研制及其特性 .并对利用该装置及利用射频溅射沉积的 Cd Te膜的结构进行了 XRD分析 .结果表明 ,CSS方法所得 Cd Te膜具有较大的晶粒尺度 ,结晶效果更好 .

关键词(KeyWords): 近距离升华;薄膜;CdTe;XRD

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金资助项目 (5 986 2 0 0 2 )

作者(Author): 陈树义,郑毓峰,简基康,李东来,马忠权

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