新疆大学学报(自然科学版)(中英文)

2000, (01) 57-60

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BaTiO_3薄膜的Sol-gel法制备及对其介电特性的研究
Preparation of Barium Titanate Thin Film by the Sol-gel Technique and the Study on Dielectric Properties

沈良,宋世庚,贾锐,陶明德

摘要(Abstract):

以钛酸四丁酯和乙酸钡为主要原料,以乙二醇独甲醚为溶剂,采用溶胶凝胶法在(100)低阻硅片上制备了BaTiO-3薄膜电容,用XRD分析了该薄膜的结构,发现薄膜在硅片上取向生长,同时又对薄膜的介电性质进行研究,结果表明,薄膜的介电特性在高频范围内随频率的变化比较稳定并讨论了晶化温度对薄膜电容的影响

关键词(KeyWords): BaTiO_3薄膜;溶胶-凝胶法;介电性质

Abstract:

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基金项目(Foundation):

作者(Author): 沈良,宋世庚,贾锐,陶明德

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