新疆大学学报(自然科学版)(中英文)

2008, No.110(02) 182-186

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不同衬底上纳米晶CdTe薄膜的低温制备及光性能研究
CdTe Nanocrystalline Thin Films Grown on Different Substrates by Low Temperature Sputtering

郭福强;简基康;郑毓峰;孙言飞;徐金宝;马灵灵;

摘要(Abstract):

在液氮温度下采用射频(R.F)磁控溅射在普通玻璃(glass)、单晶硅(Si)和陶瓷(Al2O3)衬底上制备出了纳米晶CdTe薄膜.采用X射线衍射(XRD)和场发射扫描电镜(FESEM)对薄膜的晶体结构与外貌形态进行了表征.XRD测试表明在glass和Si衬底上的CdTe薄膜比在Al2O3衬底有较好的结晶性,且在(111)晶面有较高的择优取向.在glass和Si衬底上的CdTe薄膜晶粒尺度约为25nm,而在Al2O3衬底上得到的薄膜晶粒尺度约为15nm左右.FESEM测试显示薄膜在glass和Si衬底上的结晶形态比Al2O3衬底较平整,致密.同时对玻璃衬底上不同沉积时间得到的纳米薄膜进行了光学性能研究.

关键词(KeyWords): CdTe;薄膜;R.F磁控溅射;晶体结构

Abstract:

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基金项目(Foundation):

作者(Author): 郭福强;简基康;郑毓峰;孙言飞;徐金宝;马灵灵;

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