新疆大学学报(自然科学版)

2006, (04) 420-423

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Dy离子注入CdTe薄膜的结构和喇曼光谱分析
Raman Scattering and Structure Studies on Dy Ion Implanted CdTe Polycrystalline Films

侯娟;郑毓峰;简基康;孙言飞;

摘要(Abstract):

利用X射线衍射(XRD)和喇曼(R am an)光谱对在陶瓷基底上近距离升华(CSS)制备的纯CdT e薄膜以及稀土镝(D y)离子5×1014cm-2高剂量注入的CdT e薄膜进行结构和喇曼特性分析,并讨论了离子注入后的退火效应.研究结果表明,退火处理基本消除了离子注入引起的的损伤,稀土D y离子的掺入改善了CdT e薄膜的结晶性能,增强了CdT e薄膜的喇曼活性.同时喇曼光谱的结果给出了CdT e薄膜中T e沉积物的存在情形.

关键词(KeyWords): CdTe薄膜;近距离升华;稀土Dy;喇曼光谱

Abstract:

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基金项目(Foundation):

作者(Author): 侯娟;郑毓峰;简基康;孙言飞;

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