新疆大学学报(自然科学版)

2016, v.33;No.143(03) 313-316

[打印本页] [关闭]
本期目录(Current Issue) | 过刊浏览(Past Issue) | 高级检索(Advanced Search)

基于多孔硅微腔微阵列的制备及检测
Fabrication and Detection Based on Porous Silicon Microcavity Microarray

陈位荣;贾振红;吕小毅;李鹏;

摘要(Abstract):

我们结合光刻和电化学腐蚀方法,成功在单晶硅衬底上制备出一个8×8的一维多孔硅光子晶体微腔的微阵列器件,微阵列的每个阵列单元直径300μm,间距200μm.研究了这种微阵列在633nm激光入射情况下的光学特性.利用我们制备的多孔硅光子晶体微腔的微阵列器件,借助数字图像测量方法,可实现快速的检测.本文的研究结果可应用于生物传感器阵列的检测.

关键词(KeyWords): 多孔硅;微腔;微阵列

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金(61265009;11264038);; 新疆科技厅项目(201412112)

作者(Author): 陈位荣;贾振红;吕小毅;李鹏;

Email:

参考文献(References):

扩展功能
本文信息
服务与反馈
本文关键词相关文章
本文作者相关文章
中国知网
分享